隨著全球?qū)Φ吞紲p排和可持續(xù)發(fā)展的進一步探索,電氣化的節(jié)能改造和高效能源利用已成為企業(yè)綠色轉(zhuǎn)型的關鍵。最近,全球工業(yè)加熱技術的領先專家Kanthal康泰爾公司帶來了其創(chuàng)新的ESE(The Energy Saving Element)工業(yè)電加熱技術。這種新型的節(jié)能元件將加熱和隔熱效果提升到了新的水平。Kanthal康泰爾技術經(jīng)理Kevin Peck以半導體制造行業(yè)為例,詳細介紹了ESE節(jié)能技術的研發(fā)應用,展示了該技術如何幫助傳統(tǒng)電氣系統(tǒng)進行節(jié)能改造,提高能效,以及如何幫助企業(yè)創(chuàng)造更安全、更清潔的綠色生產(chǎn)環(huán)境。 在半導體制造行業(yè),器件的熱處理成本占據(jù)了制造成本的大部分。因此,半導體制造廠(也稱為Fab)如何針對性地進行節(jié)能改造并提高生產(chǎn)能效,已成為該領域制造商實現(xiàn)電氣化低碳轉(zhuǎn)型的核心任務。近期,全球工業(yè)加熱專業(yè)企業(yè)Kanthal康泰爾的ESE系列節(jié)能技術為半導體制造領域帶來了新的可能,其創(chuàng)新解決方案將半導體器件熱處理工藝推向了一個新的高度。 與傳統(tǒng)設計相比,ESE的能耗更低且不會影響生產(chǎn)效率,能大幅度降低能源消耗,實現(xiàn)更經(jīng)濟、更低碳的生產(chǎn)加工。
通過隔熱減少熱量損失
提到對ESE節(jié)能元件的創(chuàng)新開發(fā),Kanthal康泰爾技術經(jīng)理Kevin Peck表示,成本效益并不是推動Kanthal創(chuàng)新的唯一因素。他指出:“我們意識到行業(yè)在降低能源消耗方面有改進需求,以減少半導體制造廠的碳排放。而熱處理步驟中使用的加熱元件部件占據(jù)了典型制造廠的大量能耗。我們的評估顯示,主要能耗來自于隔熱不佳造成的熱量損失,特別是在高溫或長時間的加工過程中更為明顯。”
Kevin Peck解釋說:“ ESE組件的應用旨在降低能源消耗,并在較低的功率水平下運行。同時,我們致力于實現(xiàn)與OEM部件相同的工藝效果。我認為,對ESE系列產(chǎn)品的研發(fā)和推動充分體現(xiàn)了勇于擔當?shù)目堤柶髽I(yè)文化。可以說,我們的目標不僅著眼于提高生產(chǎn)效率,還包括幫助其他企業(yè)減少對環(huán)境造成的影響,這是貫穿企業(yè)從材料到系統(tǒng)各個產(chǎn)品線的共同初衷。”
為制造商節(jié)能增效
Kanthal技術經(jīng)理Kevin Peck詳細解釋了ESE節(jié)能元件如何為一家位于中歐的半導體設備制造商帶來的創(chuàng)變。他指出:“該制造商尋求一種解決方案,以降低其臥式晶片加工盒的能耗,他們要求從5.3 kWh降至4.0 kWh,并需要在1,245°C (2,273°F) 的恒溫環(huán)境中穩(wěn)定運行。我們的ESE產(chǎn)品線以卓越性能證明了巨大的應用價值。根據(jù)我們的工程模擬結果,采用ESE加熱盒能實現(xiàn)凈節(jié)能1.6 kWh,即節(jié)能效率高達30%。此外,實地測試結果在制造商工廠中也得到了驗證,ESE加熱盒可以將能耗降低至3.7 kWh。”
據(jù)悉,該制造商通過使用Kanthal康泰爾ESE解決方案節(jié)省的總能源成本將足以抵消其購買新加熱盒的成本。不僅如此,由于保持溫度所需的運行功率降低,加熱盒的使用壽命也將增長,反而節(jié)省了更多開支。Kevin Peck表示,自從成功安裝ESE節(jié)能加熱盒以來,該客戶已經(jīng)下達了一系列訂單,以替換現(xiàn)有的老化加熱盒,實現(xiàn)了更高效和低碳的生產(chǎn)。
在節(jié)能和動態(tài)冷卻速率之間實現(xiàn)平衡
創(chuàng)新ESE技術不僅能減少爐膛關鍵區(qū)域的熱量損失,還能保持傳統(tǒng)加熱元件的冷卻速率,為各種工藝性能的提升提供有效支持。Kevin Peck對此表示肯定:“在冷卻速度至關重要的工藝中,我們的技術能在節(jié)能和動態(tài)冷卻速率之間找到平衡。”
Kanthal康泰爾ESE節(jié)能元件如何提升關鍵工藝性能?
能耗大幅降低:ESE節(jié)能元件采用了獨特的設計,有效減少了熱量損失。此外,該技術還能通過減少HVAC等設備用于環(huán)境降溫的能源消耗,進一步降低總體能耗。這種設計同時降低了加熱元件組件周圍的溫度,提升了設備的穩(wěn)定性和可靠性。
效率全面提升:與傳統(tǒng)元件相比,ESE節(jié)能元件可實現(xiàn)設備在更高溫度下的穩(wěn)定運行并加速升溫過程。在相似的工藝參數(shù)下,它還能擴展爐室容量并提升生產(chǎn)吞吐量。
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